2026年 4月15日，墨子实验室迎来了发展历程中的又一历史性时刻——首批核心工艺设备正式启动进场（Move in）。此次设备进场，标志着墨子实验室正式迈入科研平台搭建与芯片中试并行的全新阶段，距离打造河南省聚焦新型半导体芯片全产业链高能级科创平台的目标更近了一步。

光刻机、薄膜沉积、刻蚀等核心设备在芯片及半导体光电子领域起着至关重要的作用，而此类高精尖设备的运输、吊装及进场，对道路平整度、室内温湿度乃至振动系数都有着极为苛刻的要求。为确保设备移机进场工作顺利进行，实验室领导提前成立设备搬迁专项工作组，多次实地勘察路线，反复推演吊装流程，现场督导安全细节，确保万无一失。

当天清晨，墨子实验室工程部及青年科研骨干早早来到现场，实验室领导对每台设备进行责任人划分。党支部书记一线指挥，现场督导。众多博士赶到现场共同参与搬迁，见证历史时刻。本次设备进场共由四个小组配合完成，指挥组负责设备进场工作的整体协调指挥，转运组负责将设备从仓库搬至现场，拆箱组负责在超净间外进行设备拆箱，定位组负责超净间内的设备定位工作和厂务需求对接。各小组通力合作、规范操作，严格遵照半导体设备对温湿度及洁净度的苛刻要求及洁净室管理规范实施作业，随着叉车的平稳移动，首批设备精准落位于预定工位，标志着本次设备进场任务圆满完成。

墨子实验室超净间位于中原量子谷创新基地内，洁净面积约4600 m²，核心设备包含MOCVD、电子束光刻、ICP刻蚀、ICPCVD、电子束蒸发、XRD、AFM、Flip Chip等，覆盖从外延、芯片制造到封装的全流程化合物芯片产线。未来，超净间将集科研创新、人才培养、产教融合于一体，形成综合性的实验科研载体。本次设备搬运工作已将首批11台套核心工艺设备及附属设备全部移入超净间，顺利完成了建设内容。此次设备进场不仅是对前期基建与超净间建设成果的检验，更是实验室从“物理载体”向“创新内核”转化的关键一步。作为河南省化合物半导体领域唯一的实验基础设施，墨子实验室建成后，将致力于打造成为我国新型半导体领域集技术创新、成果转化、科技合作与人才培养交流于一体的研究基地。