平台简介
墨子实验室工艺试验平台坐落于中原量子谷创新基地,拥有4500余平方米的超净实验室空间,配备外延、光刻、刻蚀、薄膜、封测等完整的半导体工艺设备100余台套,现拥有50多名博士团队。平台专注于第一至四代半导体材料(Si、GaAs、GaN、Ga2O3)及二维材料芯片的研发与制造,聚焦微纳光电子芯片协同攻关,不仅支撑内部科研需求,还面向初创企业、科研院所提供芯片研发和小批量试制服务。作为河南省首个专业芯片工艺平台,该平台填补了省内半导体产业关键环节的空白,为区域半导体产业发展提供了重要支撑。




