外延区核心设备展示

设备名称：金属有机化学气相外延（MOCVD）

设备品牌：蓝河科技（中国）

设备型号：C300HT

功能简介：MOCVD通过精准控制金属有机前驱体气相反应，在高温衬底表面逐层生长高精度、高质量单晶薄膜材料。作为化合物体系外延生长的主要设备，可满足高端器件对晶体质量、掺杂均匀性的严苛要求。

设备特点：C300HT是墨子实验室结构设计，蓝河科技制造的全国产化自主可控的高端半导体外延装备，打破了国外技术垄断，该设备应用自平衡高速旋转运动模式和分层垂直注入气流模型；高精度流量计实现气源精准分配与调节。智能化分区控温，最高使用温度可达1700 ℃，温场均匀性优异。多腔真空互联，可连续生长免维护，拥有超长的维护周期，特别适合于批量生产采用。